对大多数真空系统来说，真空阀门应具有以下性能：
　　1、防锈性
　　在与真空环境接触的材料要具有良好的防锈性能。因此采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。
　　2、工作压力范围在0～2.5×105Pa
　　相对较宽的压力范围，会使产品的使用面较广，而且阀板的密封好是双向的，至少阀板在反顶大气压时也可密封。
　　3、低漏率
　　在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率利于提高系统的效率，真空系统对减少生产成本有用。
　　4、起动时，震动低，对系统冲击小。
　　5、结构紧凑，重量轻
　　6、明显的阀位指示
　　7、可选配加装阀门启闭信号控制器，便于编程自动化控制。
　　8、高流导
　　9、采用波纹管作为位移的动密封
　　无动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，真空系统可靠性高并可以避免产生颗粒污染。
　　10、真空部分尽量避免采用真空脂。
　　11、尽量减少真空部件内的无用空间，以让真空获得的时间少。
　　12、尽可能的减少功耗。